质谱专用氮气发生器主要组成部分
任何仪器都的每一部分都是十分重要的，缺少任何一部分都会影响整体的工作，任何一部分的损坏也会使仪器整体无法工作，质谱专用氮气发生器也是如此，因此为了能更好地使用该设备，我们不仅仅要对设备整体有一定的了解，还要对其各个组成部件有一定的了解。
质谱专用氮气发生器主要由储罐组件、净化组件、氮气缓冲系统、氮氧分离系统等四大部件组成。
1.储罐组件：由空气储罐、安全阀、球阀等组成，其作用是保证系统用气平稳外，还可以降低压缩空气的出气温度，使压缩空气中水、油等杂质随压缩空气温度的降低而分离出来，有利于延长后处理设备寿命，同时提高压缩空气的品质。进而降低气流脉动，达到缓冲作用，从而减小系统压力波动，使压缩空气平稳地通过压缩空气净化组件，以便充分除去油水杂质，减轻后续PSA氧氮分离装置的负荷。同时，在吸附塔进行工作切换时，它也为PSA氧氮分离装置提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气，使得吸附塔内压力很快上升到工作压力，保证了设备可靠稳定的运行。
2.净化组件：由管道过滤器、精过滤器、超精过滤器、冷冻干燥机、除油器等组成，其作用是除去压缩空气中的尘埃、水和油，为氮氧分离系统提供清洁的原料。
提供的压缩空气首先要通入压缩空气净化组件，压缩空气先由管道过滤器除去大部分的油、水、尘，再经冷冻干燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘，并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。根据系统工况，用来防止可能出现的微量油渗透，为碳分子筛提供充分保护，设计严谨的净化组件确保了碳分子筛的使用寿命。
3.氮气缓冲系统：由缓冲罐、粉尘过滤器、流量计、气动阀、节流阀、氮气纯度分析仪等组成。其主要作用是使氮气压力、纯度和流量平稳，氮气纯度分析仪可即时测出氮气纯度，并自动控制气动阀将不合格氮气排空。用于均衡从氮氧分离系统分离出来的氮气的压力和纯度，保证连续供给氮气稳定。同时，在吸附塔进行工作切换后，它将本身的部分气体回充吸附塔，一方面帮助吸附塔升压，另外也起到保护床层的作用，在设备工作过程中起到重要的工艺辅助作用。
4.氮氧分离系统：制氮设备的主要部件，由两个交替工作的吸附塔(塔内装碳分子筛)和气动阀、节流阀、消音器等组成。根据碳分子筛对空气中主要成分氧气和氮气的吸附速率不同，在加压吸附和降压脱附过程中实现氮氧分离，而加压吸附与降压脱附过程由可编程控制器按一定程序控制电磁阀，并由电磁阀控制相应的气动阀自动运行。
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