高纯制氮机达到99.999%以上纯度的关键技术点如下：
1. 核心原理：PSA变压吸附技术
通过碳分子筛（CMS）选择性吸附空气中的氧气，实现氮氧分离。分子筛的微孔结构可截留氧气分子，让氮气通过
2. 提纯工艺选择
氢气脱氧法：在催化剂（钯/铂）作用下，氢气与残余氧反应生成水，再经干燥去除，纯度可达99.999%。
铜催化脱氧法：高温下铜直接与氧反应生成氧化铜，无需氢气，安全性更高。
分子筛精脱法：采用5A、13X等高性能分子筛深度吸附杂质，纯度可达99.9995%。
3. 关键组件
分子筛：需具备高吸附容量和再生性能，如沸石分子筛
脱氧反应器：含催化剂床层，需精确控温。
干燥系统：冷冻式或吸附式干燥器，去除水分。
4. 行业应用
半导体、医药等领域需99.999%以上氮气，防止晶圆氧化或保障无菌环境
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